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半導體成膜工藝

半導體用真空泵一般容易存在啟動、加速響應慢，抽速不夠穩定；運行效率不高；開放大氣時易發生過載、過流故障而停機；面對雷雨季節及供電環境不好時，易因瞬時停電或電壓暫降而造成真空泵停機，造成半導體生產損失。

采用安川變頻器后設備的特性

安川變頻器在國內外的真空泵設備上廣泛應用，業內知名度高。能夠使半導體用真空泵在不同的半導體工藝下，穩定、高效運行，滿足客戶需求。
以上是關于真空泵行業的案例介紹。除此之外，安川也會根據客戶的需求提供定制化的方案與服務，敬請期待。